激光塵埃粒子計數器，六粒徑通道，半導體等工業潔凈檢測

激光塵埃粒子計數器的工作原理是光散射現象。當空氣中的微粒在激光束的照射下，會發生散射，散射光的強度與微粒的表面積成正比，可以推斷出微粒的大小和數量。通過內置的采樣泵抽取待測氣體，使氣體以規定的流量通過激光頭。氣體中的塵埃粒子散射激光信號，這些散射光被光學傳感器接收并轉化為電脈沖信號。隨后，這些脈沖信號經過放大和數字信號處理，與標準粒子信號進行比較，最終將結果以粒子數量和粒徑分布的形式顯示出來。

六粒徑通道的激光塵埃粒子計數器，能夠一次采樣同時測得 0.3μm、0.5μm、1.0μm、3.0μm、5.0μm、10.0μm 這六個粒徑通道的塵埃粒子數，實時顯示各粒徑通道粒子的數目及變化情況。

在半導體制造行業，生產過程對環境潔凈度要求很嚴苛。比如在光刻環節，塵埃粒子落在晶圓上，可能導致光刻圖案出現偏差，使芯片出現短路、斷路等功能性故障，降低產品良率。在 CMP 拋光區，較大粒徑如 5.0μm - 10.0μm 的塵埃粒子，可能會在拋光過程中造成晶圓表面的劃痕，影響芯片的電學性能和可靠性。而六粒徑通道的激光塵埃粒子計數器，能夠精準地監測到不同粒徑范圍的塵埃粒子濃度變化，幫助企業及時發現潛在的污染源。若在某一區域檢測到 0.3μm - 1.0μm 粒徑的粒子濃度異常升高，企業可排查是否是空氣過濾系統中針對微小粒子的過濾層出現了破損；若 5.0μm - 10.0μm 粒徑的粒子增多，或許可能是設備的機械運動部件產生了磨損碎屑，需及時進行維護。

在醫藥工業的無菌藥品生產車間，同樣需要嚴格控制塵埃粒子。對于 A 級區，需要重點在線監測≥0.5μm 粒子，動態時其數量需≤3520/m3，靜態時≤20/m3。激光塵埃粒子計數器的六粒徑通道可全面監測不同粒徑粒子，確保生產環境符合標準，保障藥品質量安全。

除了半導體和醫藥行業，在光學、精密機械加工等對環境潔凈度有高要求的工業領域，也需要六粒徑通道的激光塵埃粒子計數器。它為企業提供了全面、精準的潔凈環境檢測數據，助力企業及時采取措施，優化生產環境，提升產品質量與生產效率。